产品描述:
通过直拉-区熔法生产出满足客户特殊要求的硅单晶及硅片。
直拉和区熔的工艺相结合,首先是按照常规直拉晶体生产工艺进行拉晶操作,得到多晶棒;晶棒出炉后,对晶棒进行锭形加工、清洗腐蚀;然后按照常规区熔单晶生长工艺进行操作,得到区熔单晶。直拉区熔硅单晶克服了直拉法生产硅单晶中氧含量高的缺陷以及克服了区熔法不能生产掺入特殊固态元素的硅单晶的缺陷,从而满足特殊客户的特殊要求。
产品参数:
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导电类型:
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N&P
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晶向:
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<100>,<110>,<111>
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直径:
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(30~175)mm
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电阻率范围:
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(0.001~150)Ω.cm
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